New Application Note: Measurement of part per billion in UHP gases for semiconductor
24-04-2018
Met behulp van de Plasmadetek2 (PED) en de MultiDetek2 (GC) worden analyses van een deel per miljard onder het niveau van 1ppb haalbaar, alles in één apparaat. De analyses van sporen van ppb onzuiverheden van H2-Ar-N2-CH5-CO-CO2-NMHC kunnen in multiple gas backgrounds worden uitgevoerd. Deze application note toont de resultaten die zijn behaald voor sub ppb trace H2-CO-N2-CH4-CO2 in Argon-Helium-zuurstof. Lees application note.
nieuws overzicht